旋回流誘引型成層空調システムSWIT^®（スウィット）をクリーンルームに適用させた「TCR-SWIT^®」に関する発明であり、少ない換気回数で空調領域の清浄度を確保できるクリーンルームを短工期で構築し、且つクリーンルーム内の生産装置等の設置スペースを広く確保することを可能とするものである。

従来のFFU方式のクリーンルームは、クリーンルーム内全体を混合させるために多くの換気回数が必要であった。これに対し当社は、クリーンルーム下部の空調領域に、低温清浄空気に旋回成分を与えて横向きに給気することで、少ない換気回数で空調領域の清浄度を確保できるシステムを開発、特許取得（特許第5361140号）している。しかし同システムにおいても、大型の外調機やレタンシャフトの設置などが必要であり、給気ダクトの距離も長くなっていたため、工期に長期間を要していた。

そこで本発明は、空気循環ユニットを薄くした場合でも、ファン37により吸い込まれた空気が必ず背面側から高性能フィルタ36を通過する構成とした。具体的には、以下を有する空気循環ユニット30をクリーンルーム10内に備えた構成とした。

• 空調領域11よりも上方位置に設けた吸気口31
• 空調領域11高さまで分布して配置され、空調領域11に横向きに給気する複数の給気口32
• 冷却器35および高性能フィルタ36
• クリーンルーム10内の空気を吸気口31から吸い込み、給気口32に向けて送風するファン37
• 高性能フィルタ36よりも背面側（吹出口31側を前面側として）に開口部41が設けられた邪魔板40

本発明によれば、レタンシャフトや給気ダクトなどの設置を省略することが可能となり、比較的簡単な設備でありながら、少ない換気回数で空調領域の清浄度を確保することができる。また、空気循環ユニット30内に邪魔板40を設けたことで、高性能フィルタ36や冷却器35が空気循環ユニット30内の多くの領域を占めていても、ファン37により吸い込まれた空気を必ず背面側から高性能フィルタ36を通過させてクリーンルーム10内に給気することができる。これにより、高性能フィルタ36や冷却器35を内蔵した空気循環ユニット30を薄く形成し、クリーンルーム内の生産装置等の設置スペースを広く確保することができる。

【符号の説明】
10 クリーンルーム、11 空調領域、12 機器、30 空気循環ユニット、31 吸気口、32 給気口、35 冷却器、36 高性能フィルタ、37 ファン、40 邪魔板、41 開口部