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三菱電機株式会社パワーデバイス製作所 熊本事業所泗水工場

名称 三菱電機株式会社パワーデバイス製作所 熊本事業所泗水工場
施設用途工場・研究所
所在地 熊本県菊池市
竣工年月2025年9月
特長本施設は、電気自動車(EV)や家電、産業機械など幅広い分野で活用される、最先端のSiC(炭化ケイ素)パワー半導体を製造する工場です。大規模なクリーンルーム内で8インチ(約200mm)ウエハーを製造します。
当社はクリーンルーム等の施工を担当し、旋回流誘引型成層空調システム「TCR-SWIT®」を導入しました。徹底した廃熱回収により、環境負荷の低減と省エネの両立を実現しています。