産業技術総合研究所つくば西スーパークリーンルーム

名称	産業技術総合研究所つくば西スーパークリーンルーム
施設用途	工場・研究所
所在地	茨城県つくば市
竣工年月	2002年3月
特長	産業技術総合研究所が世界最先端の半導体研究開発に使用し、大学及び企業等との共同研究にも使用しています。床面積3,000m²・清浄度クラス3（JIS規格 B9920）・温度23±1℃・湿度45％±5％・FFUによる一方向流方式の研究環境を常に一定に保っています。