産業技術総合研究所つくば西スーパークリーンルーム

工場・研究所

名称 産業技術総合研究所つくば西スーパークリーンルーム
施設用途 工場・研究所
所在地 茨城県つくば市
竣工年月 2002年3月
特長 産業技術総合研究所が世界最先端の半導体研究開発に使用し、大学及び企業等との共同研究にも使用しています。
床面積3,000m2・清浄度クラス3(JIS規格 B9920)・温度23±1℃・湿度45%±5%・FFUによる一方向流方式の研究環境を常に一定に保っています。