クリーンルーム用 旋回流誘引型
成層空調システム
TCR-SWIT®
（ティーシーアールスウィット）
省エネ・省CO2・省コストを実現し
高精度環境を超短工期で構築
半導体製造用クリーンルームは超微細な精密加工を高い歩留まりで実現するために、温度・湿度・清浄度（微粒子、ガス状汚染物質）を高精度かつ安定的に制御することが必要です。
TCR-SWIT®は、冷気は下降し暖気は上昇する原理を利用した旋回流誘引型の成層空調システムSWIT®の技術を、クリーンルームの製造環境（温度管理・清浄度管理）へ応用した空調システムです。
TCR-SWIT®：Takasago Clean Room Swirling Induction Type
特許 第5361140号、特許 第6636859号、
特許 第6878552号、特許 第6909850号、
特許 第7068261号、特開 2020-106230、
特開 2020-106231号 他
特長
- 従来の混合空調方式クリーンルームの清浄度レベルを維持しながら消費エネルギーの削減が可能
- クラス1,000(＠0.5μm)／ISO:クラス6のクリーンルームで清浄度の維持を確認
- 従来の混合空調方式クリーンルームに比べ、空調設備（搬送、熱源）の消費エネルギー・導入コストの大幅な削減が可能
システム概要
独自形状の吹出面から旋回流の状態で供給される冷気は、周囲の空気を誘引しながら大風量となって室内に行き渡るため、従来よりも吹出し風量の小風量化と室温に近い吹出し温度を可能にしています。また、室内の浮遊微粒子は、発熱体で暖められた空気と一緒に室上部に上昇して排出されるため、従来の混合空調方式クリーンルームと同等の清浄度を維持することが可能です。
導入事例1
従来の混合空調型クリーンルームとの比較
