半導体製造用クリーンルーム

  • 7 エネルギーをみんなに そしてクリーンに
  • 9 産業と技術革新の基盤をつくろう
  • 11 住み続けられるまちづくりを
  • 13 気候変動に具体的な対策を

高精度環境を省エネルギー・省コストと両立させ超短工期で構築

半導体製造用クリーンルームは、超微細精密加工を高い歩留で実現するために、温度・湿度・清浄度(ガス状汚染質除去)・気流・微振動を高精度かつ安定的に制御することが必要です。
豊富な施工実績に基づき、設備システム・容量の最適化、製造ライン・生産付帯設備に踏み込んだ提案、脱ガス配慮設計技術、垂直立上げを実現する施工管理手法などを駆使し、超短工期で高品質なクリーンルームを構築します。
また、旋回流誘引型成層空調システムSWIT®(スウィット)を用いたクリーンルーム(TCR-SWIT®)では、少ない風量で作業域を従来と同じ清浄度に維持できるため、クリーンルームの省エネルギー化も実現できます。

(特許第5636140号、特開2017-187264号)

導入実績:25件

TCR-SWIT®(SWITを用いたクリーンルーム)内の浮遊微粒子分布の例