クリーンドライエア供給装置
CDASS®（シーダス）シリーズ
技術概要
この技術のポイント
- 露点温度-100 ℃（8.7wt ppb ）以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機のガス状汚染物質と塵埃を除去したクリーン・ドライエア（CDA）を供給。
- 除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給
- ランニングコストは、圧縮空気（圧力スイング方式）と比較して安価。窒素ガス方式に比べてもより安価で安全。
ラインナップ
- 大風量型「CDASS®-100」
- 小風量型「CDASS®-mini」
- 小風量・圧縮空気用「CDASS®-HP」
超低露点清浄空気供給システム：CDASS®-100
- 露点温度-100 ℃（8.7wt ppb ）以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機のガス状汚染物質と塵埃を除去したクリーン・ドライエア（CDA）を供給。
- 除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給
可搬型クリーンドライエア供給装置：CDASS®-mini
- 熱源設備を組み込んだオールインワンパッケージ
- 電源接続のみでCDAを製造・供給。
- 実績のある除湿ロータを使用
※CDASS®-miniの貸出機がございます。
用途例
- 電子デバイス製造装置の基板搬送用エアベアリングへの供給空気
- 空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを嫌う製品
- 研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として最適
- レチクルのHaze防止
- レンズの曇り防止
- ウェハ自然酸化膜防止
- 真空装置内部の水分付着防止
- 有機EL製造ライン
高圧型クリーンドライエア供給装置：CDASS®-HP（エイチピー）
- CDASS®-100と同等の圧縮空気を供給
- 窒素ガス供給システムと同等の0.5～0.7MPaの供給圧力に対応
- 小型、可搬型で、現行の製造・搬送装置への適用が容易
特許情報
特許5000931号、特許第5285964号、特許第5409279号 他