クリーンルーム用 旋回流誘引型成層空調システム
TCR-SWIT®
技術概要
この技術のポイント
- TCR-SWIT®は、冷気は下降し暖気は上昇する原理を利用した旋回流誘引型の成層空調システムSWIT®の技術を、クリーンルームの製造環境（温度管理・清浄度管理）へ応用した空調システムです。
- 床置給気ユニットから旋回流として供給される清浄冷気は、周囲の空気を誘引しながら大風量となって室内に行き渡り、上下に温度成層を形成、従来よりも吹出し風量の小風量化と室温に近い吹出し温度を可能にします。
- 室内の浮遊微粒子は、発熱体で暖められた空気と一緒に室上部に上昇して排出されるため、従来の混合空調方式クリーンルームと同等の清浄度を維持することが可能です。
TCR-SWIT®は天井裏、床下に風の流路が不要であるため、建屋階高も削減出来、建設コストも低減
特長
TCR-SWIT® ISOクラス4～5（1,000個/cf ＠0.1μm）への適用
- 従来の混合空調方式クリーンルームの清浄度レベルを維持しながら消費エネルギーの削減が可能
- ISOクラス4～5（1,000個/cf ＠0.1μm）のクリーンルームで清浄度の維持を確認
- 従来の混合空調方式クリーンルームに比べ、空調設備（搬送、熱源）の消費エネルギー・導入コストの大幅な削減が可能
TCR-SWIT® 実験・検証施設の構築
「高砂熱学イノベーションセンター」内に、TCR-SWIT® 実験・検証施設を設置しました。同一室内でTCR-SWIT® 方式とFFU方式を切り替え、温度分布・清浄度・気流などを可視化し、比較・検証ができる体感型施設です。可動式の発熱模擬負荷を備えており、実際の装置レイアウトや発熱状況に近い環境を再現して検証することができます。
導入事例
TCR-SWIT®による総合的な省エネルギーシステムの構築
TCR-SWIT®の導入により、さまざまな省エネルギー技術と組合せが可能となり、総合的な省エネルギーシステムを実現します。
➀TCR-SWIT®による空調送風動力低減
➁空調冷水高温化による冷熱源設備のCOP向上
➂冷凍機冷却水低温化運用による冷熱源設備のCOP向上
➃クリーンルーム上部低温廃熱回収および冷水フリークーリング
➄外調機の系統分離（クリーンルーム／補機エリア）による外気処理エネルギー低減
導入実績
導入件数 63件，延べクリーンルーム面積 395,000m2（2026年1月時点）
特許情報
特許5361140号、特許5490485号、特許6636859号、特許7311292号、特許7332289号、特許7436556号、特願7563938号、特許7635499号 他