クリーンドライエア供給装置
CDASS®(シーダス)
シリーズ
水分を徹底除去、さらにNH3、SOx、有機ガスなどのガス状汚染物質を除去した、
安価でクリーンなドライエアを供給します。
特許 第4754358号、特許 第5409279号 他
超低露点
清浄空気供給システム:
CDASS®-100
特長
- 除湿ロータを三段直列に用いて、超低露点空気を供給
- 露点温度-100 ℃(8.7wt ppb )以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機のガス状汚染物質と塵埃を除去したクリーン・ドライエア(CDA)を供給。
- 除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給
- ランニングコストは、圧縮空気(圧力スイング方式)と比較して1/5 ~1/10。窒素ガス方式に比べ窒息の心配なし。15~30m3/min の大風量のCDAを大気圧で供給。
システム概要
可搬型
クリーンドライエア供給装置:
CDASS®-mini
特長
- 熱源設備を組み込んだオールインワンパッケージ
- 電源接続のみでCDAを製造・供給。
- 実績のある除湿ロータを使用
- 圧縮空気(圧力スイング方式)と比べて低コスト。
- 窒素ガス方式と比べてもより安価で安全。
- CDASS®-miniの貸出機がございます。
用途例
- 電子デバイス製造装置の基板搬送用エアベアリングへの供給空気
- 空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを嫌う製品
- 研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として最適
- レチクルのHaze防止
- レンズの曇り防止
- ウェハ自然酸化膜防止
- 真空装置内部の水分付着防止
- 有機EL製造ライン
高圧型
クリーンドライエア供給装置:
CDASS®-HP(エイチピー)
- 圧縮空気を吸着筒切替方式で精製し、CDASS®-100と同等のCDAを供給
- 窒素ガス供給システムと同等の0.5~0.7MPaの供給圧力に対応
- 小型、可搬型で、現行の製造・搬送装置への適用が容易