クリーンドライエア供給装置 CDASS®(シーダス)シリーズ

  • 7 エネルギーをみんなに そしてクリーンに
  • 9 産業と技術革新の基盤をつくろう
  • 13 気候変動に具体的な対策を

水分を徹底除去、さらにNH3、SOx、有機ガスなどのガス状汚染物質を除去した、安価でクリーンなドライエアを供給します。

(特許第3762138号、特許第4334688号、
特許第4754358号、特許第4990443号、
特許第5409279号 他)

導入実績:22件

超低露点清浄空気供給システム:CDASS®-100

特長

  • 除湿ロータを三段直列に用いて、超低露点空気を供給
  • 露点温度-100 ℃(8.7wt ppb )以下の空気でかつ有機・NOxを含む無機のガス状汚染物質と塵埃を除去したクリーン・ドライエア(CDA)を供給。
  • 除湿ロータを使用し、安価にCDAを製造・供給
  • ランニングコストは、圧縮空気(圧力スイング方式)と比較して1/5 ~1/10。窒素ガス方式に比べ窒息の心配なし。15~30m3/min の大風量のCDAを大気圧で供給。

システム概要

可搬型クリーンドライエア供給装置:CDASS®-mini

特長

  • 熱源設備を組み込んだオールインワンパッケージ
  • 電源接続のみでCDAを製造・供給。
  • 実績のある除湿ロータを使用
  • 圧縮空気(圧力スイング方式)と比べて低コスト。
  • 窒素ガス方式と比べてもより安価で安全。
  • CDASS®-miniの貸出機がございます。

用途例

  • 電子デバイス製造装置の基板搬送用エアベアリングへの供給空気
  • 空気中に含まれる水分やケミカルコンタミネーションを嫌う製品
  • 研究開発や試作ラインで窒素ガスの代替として最適
  • レチクルのHaze防止
  • レンズの曇り防止
  • ウェハ自然酸化膜防止
  • 真空装置内部の水分付着防止
  • 有機EL製造ライン

高圧型クリーンドライエア供給装置:CDASS®-HP(エイチピー)

  • 圧縮空気を吸着筒切替方式で精製し、CDASS®-100と同等のCDAを供給
  • 窒素ガス供給システムと同等の0.5~0.7MPaの供給圧力に対応
  • 小型、可搬型で、現行の製造・搬送装置への適用が容易

CDASS®シリーズ適用領域

エンジニアリング事業部
産業設備部 商品課
03-6369-8299