スーパークリーンイオナイザ IRISYS®(イリシス)

  • 9 産業と技術革新の基盤をつくろう

微細化が進む最先端の製造工程では、静電気障害対策が重要です。
このニーズに応えて高砂熱学工業は、世界に先駆けてスーパークリーンイオナイザを開発しました。

IRISYS®:Irradiation Ionizing System

(特許第4633524号、特許第5723099号、
特許第5760290号、特許第6255183号 他)

導入実績:8,735台

特長

  • 剥離帯電を素早く除去
  • 短時間で除電可能
  • 気流の影響なし
  • メンテナンスフリー
  • 残留電位 → 0 ボルト可能
  • 不活性ガス(N2、Arなど)及び減圧雰囲気中で除電可能
  • ダストフリー、電磁ノイズフリー
  • あらゆる製造装置に適用可能
    不活性ガス・減圧真空下など特殊環境用にも適用

IRISYS®-SX 軟X線照射除電装置

一般大気中のあらゆる製造環境で威力を発揮

IRISYS®-UV 真空紫外線照射除電装置

不活性ガス・減圧真空下など特殊環境用

エンジニアリング事業部
産業設備部 商品課
03-6369-8299