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精密空調

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省エネ型除湿機 WINDS、WINDS－Ⅱ
電池製造プロセスにおけるドライエア供給を大幅に省エネ・省コスト化します。
クリーンドライエア供給装置 CDASS
水分を徹底除去、さらにNH3、SOx、有機ガスなどのガス状汚染物質を除去した、安価でクリーンなドライエアを供給します。
省エネ型溶剤回収システム
低温再生型溶剤濃縮装置を用い、高いエネルギー効率で安定した溶剤の回収を実現します。
バイオロジカルクリーンルーム BCR
薬工場をはじめ、手術室、研究室などでの微生物や細菌による汚染を防止するための清浄環境を提供します。
室圧制御システム LO－VST
バイオロジカルクリーンルームなど気密性の高い部屋の室圧制御において、ドアの開閉、空調の起動停止や風量変更などの運転モードの変更により生じる室間差圧の逆転を抑止します。
環境試験室
世界各地の気温、湿度、気圧等の環境を試験室レベルで再現し、自動車、建設機械、素材メーカ等の開発試験をサポートします。
半導体製造用クリーンルーム
高精度環境を省エネルギー・省コストと両立させ超短工期で構築します。
脱ガス配慮設計
半導体・液晶等の電子デバイス製造用クリーンルームにおいて、ケミカル汚染を考慮した最適なシステムを提供します。
二酸化塩素消毒殺菌 TSCLOO® サービス
従来のホルマリンガスや過酸化水素ガスよりも、安全かつ短時間で室内空間を殺菌消毒することができます。
実験動物飼育施設用整流型室内空調システム TLACS
実験動物飼育室内の臭気・粉塵などの室内拡散を抑制し、ムラのない温度分布を形成します。
ケミカルワッシャ T－GET
クリーンルームに取り入れられる外気中の水溶性ガスを除去するためのエアワッシャです。クリーンルームの高性能化、省エネルギー、省コストを実現します。
スーパークリーンイオナイザ IRISYS
微細化が進む最先端の製造工程で重要とされる、静電気障害を解決します。