製造環境浄化技術

製造環境の室内および給排気系の汚染物質浄化など、製造環境や大気環境に影響をおよぼすさまざまな因子を除去・清浄化し、製造環境の最適化と大気環境へのゼロエミッションの両立をめざした技術や製品の開発に取組んでいます。半導体や液晶製造用クリーンルームの分子状汚染物質除去技術、リチウムイオン電池や有機EL製造に不可欠な低露点除湿技術などの高度化や応用技術の研究、また、医薬品や食品製造で重要となる微生物汚染制御技術の研究開発を実施しています。さらにまた、印刷・塗装をはじめ各種製造工程から排出されるVOCなどの処理回収技術や、省エネによるCO2排出抑制など、製造環境と大気環境にかかわる幅広い技術分野について取組んでいます。

保有技術

  • 分子汚染制御技術
  • 静電気除去技術
  • 化学成分分析技術
  • 局所清浄化技術
  • クリーンルーム温湿度制御
  • ケミカルフィルタ寿命予測技術
  • 溶剤回収技術

開発商品・技術